¿Quién inventó la máquina de litografía?
Máquina de litografía: la máquina de litografía, también conocida como máquina de exposición de alineación de máscaras, sistema de exposición y sistema de litografía, es el equipo principal para la fabricación de chips. Utiliza una tecnología similar a la impresión fotográfica, en la que se imprimen finos patrones de una máscara en obleas de silicio mediante exposición.
Las máquinas de litografía generalmente se dividen en tres tipos según la simplicidad de su funcionamiento: manuales, semiautomáticas y totalmente automáticas.
a Manual: se refiere al método de ajuste de alineación, es decir, la alineación se completa ajustando manualmente la perilla para cambiar el eje X, el eje Y y los ángulos thita. La precisión de la alineación es predeciblemente baja;
b Semiautomático: se refiere al posicionamiento y alineación basado en el CCD a través del eje eléctrico;
c Automático: se refiere a la carga y descarga del sustrato, y la duración y duración de la exposición; El ciclo está controlado por el programa. Las máquinas de litografía automática satisfacen principalmente las necesidades de capacidad de procesamiento de la fábrica.