El nombre completo de ftir
La espectroscopia infrarroja por transformada de Fourier FTIR se utiliza en la industria de fabricación de semiconductores.
FTIR sigue siendo un instrumento de análisis espectral que utiliza el espectro infrarrojo para someterse a la transformada de Fourier para analizar la concentración de impurezas. La espectroscopía infrarroja por transformada de Fourier (FTIR) es una técnica espectroscópica infrarroja utilizada para obtener absorción, fotoconductividad emitida o dispersión Raman de sólidos, líquidos o gases.
Analizador espectral:
Propósito: Para usuarios con aplicaciones maduras, se pueden medir diariamente los siguientes aspectos: A. Predicción del contenido de fósforo y boro de BPSG/PSG. Predicción del contenido de oxígeno y carbono de la viruta y medición del espesor epitaxial.
Aplicaciones más avanzadas incluyen:?
1. Predicción del contenido de hidrógeno en nitruro de silicio.
2. Predicción del contenido de oxígeno en silicio policristalino.
3. Análisis de las características del fotorresistente.
FTIR es un instrumento analítico extremadamente conveniente, y el establecimiento de estándares es el foco de toda la medición, porque utiliza principalmente principios ópticos y condiciones del chip (es decir, condiciones de procesamiento del respaldo de cristal) para afectar los resultados de la medición.
En la actualidad, todos los espectrómetros infrarrojos son del tipo transformada de Fourier. El espectrómetro consta principalmente de una fuente de luz (barra de silicio-carbono, lámpara de mercurio de alta presión), interferómetro de Michelson, detector e interferómetro.
La medición del espectro infrarrojo de una muestra mediante un espectrómetro de infrarrojos por transformada de Fourier incluye los siguientes pasos:
1. Recoger el patrón de interferencia del fondo (sin muestra) y el patrón de interferencia del fondo. la muestra respectivamente. ;
2. Convierta el patrón de interferencia anterior en luz infrarroja de un solo haz mediante la transformada de Fourier.
3 Divida el espectro de un solo haz de la muestra por el único. -espectro del haz del fondo, Obtener el espectro de transmisión o espectro de absorción de la muestra.