La Red de Conocimientos Pedagógicos - Conocimientos primarios - Cómo mejorar la integridad y resolución de los gráficos después del grabado con iones reactivos

Cómo mejorar la integridad y resolución de los gráficos después del grabado con iones reactivos

Agregue aditivos como agentes protectores a la solución corrosiva para reducir la socavación. Combina las ventajas del grabado por pulverización iónica y el grabado químico por plasma. No solo tiene alta resolución, sino que también tiene las ventajas de anisotropía y selectividad, y tiene una velocidad de grabado rápida. Cambiando los parámetros de grabado RIE como: potencia de radiofrecuencia y presión de la cavidad.