Algunas preguntas sobre los procesos y equipos de producción de paneles solares

Haré todo lo posible para responder cada una de las preguntas anteriores una por una:

1. El "horno de difusión", como su nombre indica, es un horno utilizado para la difusión. de células solares de silicio cristalino En la industria manufacturera, se utiliza naturalmente para el dopaje por difusión de sustratos de silicio para preparar estructuras de unión PN. En cuanto a la oxidación térmica de las obleas de silicio, es solo un proceso intermedio en el proceso de tecnología de dopaje por difusión. Está diseñado para mejorar la estabilidad y uniformidad del proceso de difusión. Sin embargo, el espesor de la capa de óxido general es extremadamente delgado, lo que es completamente diferente de la oxidación en el proceso de oblea semiconductora. Por lo tanto, la oblea de silicio oxidada térmicamente aquí es solo un estado intermedio y generalmente no se usa como una unidad de proceso separada.

2. "Horno de tubo" es "TUBO". Evidentemente, sólo los hornos de tubo tienen el nombre de "tubo", mientras que los hornos de placas se denominan "de cavidades". Además de los hornos de difusión, PECVD también cuenta con equipos tubulares, que son básicamente el mismo concepto que el tubo de horno de un horno de difusión.

——Además, la mayoría de los PECVD domésticos son tubulares.