Métodos para generar plasma a baja temperatura
La descarga incandescente GlowDischarge es una descarga de bajo voltaje y la presión de trabajo es generalmente inferior a 10 mbar. Su estructura consiste en colocar dos placas de electrodos paralelas en un recipiente cerrado, y los átomos y moléculas neutros son excitados por electrones. Cuando una partícula cae de un estado excitado a un estado fundamental, se libera energía en forma de luz. La fuente de alimentación puede ser CC o CA. Cada gas tiene su color típico de descarga luminosa (que se muestra en la siguiente tabla) y el brillo de las lámparas fluorescentes es una descarga luminosa. Por lo tanto, si se descubre que el color del plasma es incorrecto durante el experimento, generalmente significa que hay un problema con la pureza del gas, generalmente causado por una fuga de gas. La descarga luminosa es una herramienta importante en los experimentos con plasma químico. Sin embargo, debido a la limitación de la baja presión del aire, es difícil producir de forma continua en aplicaciones industriales y el costo de la aplicación es alto, por lo que no se puede utilizar ampliamente en la fabricación industrial. En 2013, el ámbito de aplicación se limitaba a laboratorios, productos de iluminación e industrias de semiconductores.
Color del gas local resplandor gas de descarga capa catódica brillo negativo columna positiva he
Neón (Ne)
Argón
Criptón
p>
Xenón
Deuterio
N2
Oxígeno
Aire rojo
Amarillo
p>Rosa
-
-
Marrón-rojo
Rosa
Rojo
Rosa
Naranja
Azul oscuro
Verde
Naranja-verde
Claro azul
Azul
Amarillo blanco
Azul rojo rosa
Marrón rojo
Rojo oscuro
Azul-violeta
Blanco-verde
Rosa
Rojo-amarillo
Rojo-amarillo
Descarga de corona roja-amarilla (descarga de corona)
Descarga local autosostenida de medio gaseoso en un campo eléctrico no uniforme. Esta es la forma más común de descarga de gas. Cerca del electrodo de punta con un pequeño radio de curvatura, la intensidad del campo eléctrico local excede la intensidad del campo de ionización del gas, ionizando y excitando el gas, lo que resulta en una descarga de corona. Cuando se produce corona, se ve luz alrededor de los electrodos, acompañada de un silbido. La descarga en corona puede ser una forma de descarga relativamente estable o una etapa temprana de desarrollo en el proceso de ruptura del espacio en un campo eléctrico desigual. El mecanismo de formación de la descarga en corona varía con la polaridad del electrodo de punta, lo que se debe principalmente a la diferente acumulación y distribución de la carga espacial durante el proceso de descarga en corona. Bajo la acción del voltaje CC, tanto la corona negativa como la positiva acumulan cargas espaciales cerca del electrodo de punta. En una corona negativa, cuando los electrones provocan ionización por impacto, son impulsados a un espacio alejado del electrodo de punta y forman iones negativos, mientras que los iones positivos se acumulan cerca de la superficie del electrodo. Cuando el campo eléctrico continúa intensificándose, los iones positivos son atraídos hacia el electrodo, aparece una corriente de corona de pulso y los iones negativos se difunden en el espacio de separación. Después de eso, el proceso se repite para la siguiente ionización y movimiento de partículas cargadas. Este ciclo genera corriente corona en forma de muchos pulsos. La descarga de corona puede funcionar a presión atmosférica, pero requiere un voltaje lo suficientemente alto para aumentar el campo eléctrico en el sitio de la corona. Generalmente, bajo condiciones de trabajo de alto voltaje y campo eléctrico fuerte, no es fácil obtener una descarga de corona estable y también es fácil que ocurra una descarga de arco local. Para mejorar la estabilidad, el reactor se puede convertir en una forma de electrodo asimétrico (como se muestra en la figura siguiente). El diseño del reactor de descarga en corona depende principalmente de la naturaleza de la fuente de energía, incluida la descarga en corona de CC y la descarga en corona por impulsos. La descarga corona se puede utilizar para la eliminación de polvo electrostático, tratamiento de aguas residuales, purificación de aire, etc. La descarga de corona provocada por objetos puntiagudos, como los árboles, en el suelo bajo la acción del campo geoeléctrico es una parte importante del equilibrio eléctrico atmosférico. La descarga en corona de gotas de agua arrojadas desde la superficie del océano puede promover la formación de materia orgánica en el océano y también puede ser una de las formas efectivas de descarga de aminoácidos sintetizados por organismos en la antigua atmósfera de la Tierra. Según diferentes propósitos de aplicación, la descarga en corona es un tema técnico de gran importancia.
Descarga de barrera dieléctrica (DBD)
La descarga de barrera dieléctrica (DBD) es una descarga de gas en desequilibrio en la que se inserta un medio aislante en el espacio de descarga, también llamada corona de barrera dieléctrica. descarga O descarga silenciosa. La descarga de barrera dieléctrica (DBD) puede funcionar a alta presión de aire y en un amplio rango de frecuencia. La presión de aire de funcionamiento habitual es de 10 ~ 10. La frecuencia de la fuente de alimentación puede ser de 50 Hz a 1 MHz. Las estructuras de electrodos vienen en una variedad de diseños. Se llena un cierto gas de trabajo entre los dos electrodos de descarga y uno o ambos electrodos se cubren con un medio aislante, o el medio se puede suspender directamente en el espacio de descarga o se puede llenar con un medio granular. Cuando se aplica un voltaje de CA suficientemente alto entre los dos electrodos, el gas entre los electrodos se descompondrá y se producirá una descarga, es decir, se produce una descarga de barrera dieléctrica. En aplicaciones prácticas, las estructuras de electrodos de tubería se usan ampliamente en varios reactores químicos, mientras que las estructuras de electrodos planos se usan ampliamente en la industria para modificación, injerto, mejora de la tensión superficial, limpieza y modificación hidrófila de películas y placas de polímeros y metales.
La descarga de barrera dieléctrica (DBD) suele ser impulsada por una fuente de alimentación de CA de alto voltaje sinusoidal. A medida que aumenta el voltaje de suministro, el estado del gas reactivo en el sistema cambiará en tres etapas, es decir, gradualmente desde el aislamiento hasta la ruptura y finalmente la descarga. Cuando el voltaje suministrado es relativamente bajo, aunque algunos gases se ionizarán y difundirán libremente, la corriente es demasiado pequeña y el contenido de gas en la zona de reacción es demasiado pequeño para provocar una reacción de plasma. La corriente en este momento es cero. A medida que aumenta gradualmente el voltaje de la fuente de alimentación, también aumenta el número de electrones en la zona de reacción, pero no se alcanza el voltaje de ruptura (voltaje de ruptura; voltaje de avalancha). El campo eléctrico entre los dos electrodos es relativamente bajo y no puede proporcionar suficiente energía. los electrones para formar el gas Colisión inelástica de moléculas. Debido a la falta de colisiones inelásticas, el número de electrones no puede aumentar significativamente. Por tanto, el gas de reacción permanece en un estado aislante y no se produce ninguna descarga. En este punto, la corriente aumenta ligeramente a medida que aumenta el voltaje aplicado al electrodo, pero es casi cero. Si el voltaje de la fuente de alimentación aumenta continuamente, cuando el campo eléctrico entre los dos electrodos es lo suficientemente grande como para causar una colisión inelástica de moléculas de gas, el gas aumentará considerablemente debido a la colisión inelástica de la ionización. Cuando la densidad de electrones en el espacio es superior a un valor crítico y al voltaje de ruptura de Paschen, se conectarán muchos cables de microdescarga entre los dos electrodos y el fenómeno de luminiscencia se puede observar obviamente en el sistema. En este punto, la corriente aumentará rápidamente a medida que aumente el voltaje aplicado. En la descarga de barrera dieléctrica, cuando el voltaje de ruptura excede el voltaje de ruptura de Paschen, aparecerá una gran cantidad de microdescargas distribuidas aleatoriamente en el espacio. Las características de apariencia de esta descarga parecen una descarga luminosa de bajo voltaje desde la distancia, emitiendo una luz casi azul. Mirando de cerca, está compuesto por una gran cantidad de pequeñas descargas de pulsos rápidos similares a filamentos. Mientras el espacio de aire entre los electrodos sea uniforme, la descarga será uniforme, difusa y estable. Estas microdescargas están compuestas por una gran cantidad de filamentos de corriente de pulso rápido, y cada filamento de corriente está distribuido aleatoriamente en el espacio y el tiempo de descarga. El canal de descarga es básicamente cilíndrico con un radio de aproximadamente 0,1 ~ 0,3 mm. La duración de la descarga es extremadamente corta, aproximadamente 10 ~ 100 ns, pero la densidad de corriente puede llegar a 0,1 ~ 65438 ns. Estas características macroscópicas cambiarán con la potencia, la frecuencia y el medio aplicado entre los electrodos. Si se utilizan dos medios y se aplica suficiente energía, la descarga en corona mostrará una descarga azul uniforme y "sin filamentos", que parece una descarga luminosa, pero no es una descarga luminosa. Este efecto macroscópico se puede observar directamente de forma experimental a través de electrodos transparentes o espacios de aire entre los electrodos. Por supuesto, en diferentes ambientes gaseosos, los colores de la descarga son diferentes. Aunque la descarga de barrera dieléctrica (DBD) se ha desarrollado y utilizado ampliamente, su investigación teórica es solo en los últimos 20 años y se limita solo a la microdescarga o parte de todo el proceso de descarga. No existe ninguna teoría que se pueda aplicar. DBD. Todas las situaciones. La razón es que las condiciones de trabajo de varios DBD varían mucho durante el proceso de descarga, hay procesos físicos y químicos que interactúan entre sí. Es difícil determinar los procesos intermedios específicos a partir de los resultados finales. Porque el DBD produce una gran cantidad de radicales libres y excímeros, como OH, O, NO, etc. , sus propiedades químicas son muy activas y pueden reaccionar fácilmente con otros átomos, moléculas u otros radicales libres para formar átomos o moléculas estables. Por tanto, las características de estos radicales libres pueden utilizarse para hacer frente a los COV, lo que también tiene un gran valor en la protección del medio ambiente.
Además, se pueden fabricar fuentes de radiación excímer utilizando DBD. Pueden emitir radiación de banda estrecha, con longitudes de onda que cubren las regiones espectrales infrarroja, ultravioleta y visible, sin autoabsorción de radiación. Es una fuente de luz monocromática de alta eficiencia y alta intensidad. En la estructura del electrodo DBD, el generador de ozono O3 también puede adoptar una estructura de electrodo de tubería. La gente del siglo XXI presta cada vez más atención a la investigación y aplicación de DBD. Coeficiente dieléctrico Fuerza de aislamiento (kV/mm) Vacío
Aire
Ámbar
Madera (pegamento) eléctrico fenólico
Cuarzo fundido p>
Neopreno
Nylon
Papel
Polietileno
Poliestireno
Porcelana
Aceite de piranol
Vidrio con alto contenido de sílice
Mica roja
Aceite de silicona
Titanato de estroncio
Teflón -figura parecida
Dióxido de titanio
Agua (20 grados Celsius)
Agua (25 grados Celsius) 1.00000
1.00054
2,7
4,8
3,8
6,9
3,4
3,5
2.3
2.6
6.5
4.5
4.5
5.4
2,5
233
2,1
100
80,4
78,5 Infinito
0,8
90
12
Ocho
12
14
p>14
50
25
Cuatro
12
13
160 p>
15
Ocho
60
Seis
-
-Coeficiente dieléctrico y dieléctrico Resistencia de materiales comunes.
Descarga de plasma por radiofrecuencia
El plasma de baja temperatura por radiofrecuencia es un plasma de baja temperatura generado mediante el uso de alta frecuencia y alto voltaje para ionizar el aire alrededor del electrodo. El plasma de baja temperatura por radiofrecuencia se ha aplicado al tratamiento de superficies de materiales y a la eliminación y pirólisis de desechos tóxicos debido a su alta energía de descarga y su amplio rango de descarga. El plasma de RF puede producir una descarga lineal o una descarga en chorro.
La descarga de arco deslizante o arco de plasma produce plasma a baja temperatura.
El plasma de descarga por arco deslizante se utiliza habitualmente para el tratamiento superficial de materiales y la eliminación y pirólisis de residuos tóxicos. El arco deslizante en la figura siguiente consta de un par de electrodos de arco extendidos como se muestra. El alto voltaje aplicado a los dos electrodos por una fuente de energía hace que el gas que fluye entre los electrodos se abra paso en las partes más estrechas de los electrodos. Una vez que se produce la falla, la fuente de alimentación proporciona un voltaje medio y una corriente grande suficiente para producir un arco fuerte. El arco se expande y se extiende hacia la derecha sobre la superficie semioval del electrodo hasta que no puede sostenerse. Una vez extinguido el arco, el ciclo comienza de nuevo. Se observa visualmente que el plasma de descarga de arco deslizante es como una llama, pero su temperatura promedio es relativamente baja y no arderá incluso si se coloca una servilleta sobre la llama de plasma. También llamada "Escalera de Jacog". El plasma de baja temperatura producido por la descarga de arco deslizante es un chorro pulsado, pero se puede obtener una antorcha de plasma de chorro relativamente ancho.
Pulverización de descargas de plasma a baja temperatura
Desde hace décadas se conocen varias aplicaciones industriales de las antorchas de plasma, como la soldadura TIG, el corte por plasma de aire y la pulverización por plasma. El componente central de estos dispositivos generalmente se llama antorcha de plasma y la temperatura del centro de su plasma alcanza miles de grados, lo que es plasma térmico. En los últimos años, con el fin de tratar la superficie de materiales orgánicos, como el caucho, para mejorar la adhesión a la superficie, la tecnología de la antorcha de plasma se ha reducido y miniaturizado, el arco caliente se ha cambiado a un arco frío y el chorro de plasma a baja temperatura. Se han desarrollado equipos de tratamiento de superficies. La temperatura de salida de la pistola rociadora es de sólo unos pocos cientos de grados o incluso menos, y ha comenzado a usarse ampliamente en las industrias de electrodomésticos y automóviles.
Algunas empresas de alta tecnología, como CORONA Lab de China, han comercializado esta tecnología para el procesamiento en línea de alta velocidad. 1. Principio del tratamiento de superficies con plasma a baja temperatura y chorro a presión atmosférica. El aire que fluye a través de una pistola de plasma de arco frío puede producir especies reactivas a base de oxígeno que incluyen una gran cantidad de átomos de oxígeno. Cuando se irradia plasma a base de oxígeno a la superficie del material, las moléculas del contaminante orgánico C adheridas a la superficie del material se pueden separar y convertir en dióxido de carbono y luego eliminarse, al mismo tiempo, se puede mejorar el rendimiento del contacto, mejorando así; la fuerza y la confiabilidad conjuntas. 2. Aplicación industrial del tratamiento de superficies con plasma de baja temperatura y chorro atmosférico a) El tratamiento previo a la soldadura para soldadura a tope de láminas de acero inoxidable se usa ampliamente en la industria. Por ejemplo, el cilindro interior de un calentador de agua solar está hecho de láminas de acero inoxidable de 0,4 mm enrolladas en un cilindro mediante soldadura a tope. Para cumplir con los requisitos de soldadura, es necesario limpiar el lugar de soldadura. El método de limpieza actual es el lavado manual húmedo con agentes de limpieza químicos. El costo de limpieza es alto, la contaminación es grande y es difícil realizar la automatización. La tecnología de limpieza por plasma a baja temperatura por chorro atmosférico es un método seco utilizado en el pretratamiento de la soldadura a tope de placas delgadas. Puede utilizar agentes de limpieza químicos para reemplazar la limpieza manual tradicional, reducir los costos de limpieza, mejorar la calidad de la soldadura, reducir la contaminación ambiental y realizar la automatización de la limpieza del área de soldadura. b) Tratamiento superficial de tableros de plástico Los plásticos, como el plástico de madera, son materiales nuevos que pueden reemplazar a la madera, pero es bastante difícil pulverizar pintura sobre la superficie, lo que limita en gran medida el ámbito de aplicación. Si se utiliza tratamiento químico, el precio será alto y la contaminación será grande. Por esta razón, cuando se trata con plasma atmosférico de baja temperatura, la superficie del material cambiará significativamente: el color será ligeramente más claro, la reflectividad se reducirá y la superficie será ligeramente rugosa al tocarla; a mano; la adherencia de la pintura en aerosol mejorará enormemente. La adherencia se puede probar antes y después del tratamiento con plasma. Método de prueba: use un raspador para raspar la superficie de la pieza a probar y cepille ligeramente la superficie con un cepillo suave para eliminar la espuma rota. Utilice cinta transparente para adherir a la línea marcada. No debe haber burbujas de aire entre la cinta y la muestra. Manténgala durante 1 a 2 minutos. Retire la cinta a una velocidad constante en un ángulo de aproximadamente 60 grados. Observe la integridad de las líneas y cuadrados para juzgar la adhesión. c) Procesamiento de productos de caucho El caucho se utiliza ampliamente en nuestra vida diaria, como en los sellos de las puertas de los automóviles. Su superficie necesita ser pintada o texturizada. Si no se trata con plasma a baja temperatura, no será fácil unirlo. Si se utiliza limpieza química, se desconectará y contaminará el medio ambiente. El procesamiento de plasma en línea es una solución ideal. d) Los chorros de plasma de aire para el tratamiento de placas de vidrio y metal pueden tratar superficies de vidrio y metal, no solo eliminando eficazmente los contaminantes orgánicos generados por el polvo flotante en la atmósfera, sino también cambiando las propiedades de la superficie durante un tiempo suficientemente largo. Esto puede mejorar la fuerza de unión del producto. Además, la limpieza con plasma a presión atmosférica también se puede utilizar en superficies de materiales orgánicos y metálicos.
Descarga luminiscente a presión atmosférica (APGD)
Después de casi 20 años de desarrollo, los plasmas de baja presión y baja temperatura han logrado grandes avances. Sin embargo, debido a su aspiración, la gran inversión en equipos y su operación compleja, no es adecuado para la producción industrial continua, lo que limita su amplia aplicación. Evidentemente, el plasma generado por descarga a presión atmosférica es el más adecuado para la producción industrial. En la actualidad, la descarga de corona y la descarga de barrera dieléctrica bajo presión atmosférica se usan ampliamente en el tratamiento de superficies de diversos materiales inorgánicos, materiales metálicos y materiales poliméricos, pero no se pueden usar en el tratamiento de superficies de diversos textiles de fibras químicas, textiles de lana, fibras y telas no tejidas. La descarga luminosa de bajo voltaje puede tratar estos materiales, pero existen problemas como el costo y la eficiencia del procesamiento, y actualmente no se puede aplicar al tratamiento de superficies de textiles a gran escala. Durante mucho tiempo se ha intentado realizar una descarga luminosa (APGD) a presión atmosférica. En 1933, VonEngel de Alemania informó por primera vez sobre los resultados de la investigación. La descarga incandescente se ha logrado utilizando electrodos desnudos enfriados en hidrógeno y aire a presión atmosférica, pero pasa fácilmente a arco y debe encenderse a baja presión, es decir, no puede separarse del sistema de vacío. En 1988, Kanazawa et al. informaron el uso de helio a presión atmosférica para obtener APGD estable y, a través de experimentos, concluyeron tres condiciones para generar APGD: (1) la frecuencia de la fuente de excitación debe ser superior a 1 kHz (2) medios duales; es necesario; (3) se debe utilizar helio.
Desde entonces, Okazaki de Japón, Maxins de Francia y Ross de Estados Unidos han afirmado sucesivamente haber logrado "APGD" bajo presión atmosférica en algunos gases y mezclas de gases utilizando el método DBD, utilizando fuentes de energía y medios de diferentes frecuencias respectivamente. En 1992, el Grupo Roth realizó APGD en un espacio de helio de 5 mm y afirmó que también lo realizó en un espacio de aire de varios mm. Las principales condiciones experimentales son: humedad inferior a 15ºC, flujo de gas de 50 l/min, frecuencia de 3 kHz, potencia. Adaptación de impedancia de suministro y carga. Creen que la "trampa de iones" es la clave para lograr APGD. Roth et al. explicaron el APGD utilizando el principio de captura de iones, es decir, cuando la frecuencia del voltaje de operación es lo suficientemente alta como para capturar los iones positivos entre las placas en medio ciclo, pero no lo suficiente como para capturar electrones, quedarán cargas espaciales en el brecha de gas, y el impacto será La descarga de medio ciclo reduce significativamente la intensidad del campo de descarga requerida y favorece la producción de APGD uniforme. Realizaron "APGD" de Ar, él y aire en el dispositivo experimental de plasma de descarga de gas en el laboratorio. En 1993, el Grupo Okazaki utilizó un electrodo de malla metálica (diámetro de alambre de 0,035 mm, malla 325) como película de PET (medio), una fuente de alimentación con una frecuencia de 50 Hz y un espacio de gas (argón, nitrógeno, aire) de 1,5 mm. Se llevaron a cabo una gran cantidad de experimentos y se afirmó que se logró una descarga luminosa a presión atmosférica. Propusieron un método para distinguir entre descarga luminosa y descarga de filamento basándose en la diferencia en el número de pulsos de corriente y la figura de Lisajous (la figura de Lisajous son dos líneas oblicuas paralelas, que es la descarga luminosa). Si hay múltiples pulsos de corriente en medio ciclo y la figura de Lissajous es un paralelogramo inclinado, se trata de una descarga filamentosa. El grupo Massines en Francia, el grupo Radu en Canadá y el grupo Golubovskii en Rusia también han realizado investigaciones en profundidad sobre el mecanismo de formación de APGD. El grupo de Maxins realizó estudios experimentales y simulaciones numéricas de APGD de helio y nitrógeno. Además de medir el voltaje aplicado y la corriente de descarga, también capturaron imágenes de descarga con resolución temporal usando una cámara ICCD con un tiempo de exposición de solo 65,438 ± 00 ns, y registraron el espectro de emisión del plasma de descarga usando mediciones de espectroscopia con resolución temporal. Combinado con la simulación numérica unidimensional del proceso de descarga, creen que la descarga uniforme de nitrógeno sigue siendo una descarga de Townsend, mientras que la descarga uniforme de helio es la descarga luminosa real. También creen que la clave para obtener una descarga uniforme a presión atmosférica es desarrollar lentamente una gran avalancha de electrones en un campo eléctrico más bajo. Por lo tanto, antes de que comience la descarga, debe haber una gran cantidad de electrones semilla en el espacio, que pueden ser proporcionados por el estado metaestable de larga duración y su ionización de Penning. Basándose en las imágenes de descarga capturadas por ICCD con una exposición de 10 ns, el equipo de Radu descubrió que se puede lograr una descarga luminosa en la brecha DBD de los gases atmosféricos inertes he, Ne, Ar y criptón. Además de la descarga luminiscente y la descarga de filamentos, existe un tercer método de descarga: la descarga columnar, que se encuentra entre los dos primeros. Desde finales del siglo pasado, muchas unidades domésticas como el Laboratorio Corona, la Universidad Tsinghua, la Universidad Tecnológica de Dalian, la Universidad de Energía Eléctrica del Norte de China, la Universidad Xi Jiaotong, la Universidad de Ciencia y Tecnología de Huazhong, el Instituto de Física y la Academia China de Ciencias. , Universidad Normal de Hebei, etc. han comenzado a investigar sobre APGD. Porque APGD tiene atractivas perspectivas de aplicación industrial en textiles, recubrimientos, protección ambiental, materiales cinematográficos y otros campos. Realizar la descarga luminosa bajo presión atmosférica y generar plasma a baja temperatura en el aire siempre ha sido un foco de investigación y un punto caliente explorado por académicos nacionales y extranjeros. En 2003, la Fundación Nacional de Ciencias Naturales de China incluyó la descarga luminosa a presión atmosférica como un proyecto de investigación nacional clave. La investigación sobre APGD también ha logrado algunos avances, como los gases inertes él, Ne, Ar y criptón, que básicamente han logrado APGD bajo presión atmosférica, y el aire también ha logrado casi "APGD" que parece más uniforme a simple vista. Los resultados de la investigación actual y la comprensión del APGD son que el espectador tiene opiniones diferentes y los sabios tienen opiniones diferentes. La investigación sobre APGD está en auge y ha recibido una amplia atención por parte de muchas universidades e instituciones de investigación nacionales y extranjeras. Porque actualmente no existe un estándar reconocido para la descarga luminosa a presión atmosférica (siempre que se requieran ciertos dispositivos de bloqueo dieléctrico, frecuencia, potencia, flujo de aire, humedad, etc.).
) El fenómeno de descarga observado en muchos experimentos es muy similar a la descarga luminosa, es decir, hay una descarga uniforme de "niebla" en las características visuales, pero no se puede ver ninguna descarga filamentosa. Sin embargo, aún no está claro si este fenómeno de descarga pertenece. descarga luminosa No hay * * * comprensión ni conclusión.
La descarga luminosa por debajo de la presión atmosférica produce plasma a baja temperatura.
Debido a que se ha informado sobre la tecnología de descarga luminosa a presión atmosférica, pero la tecnología es inmadura, no existe ningún equipo que pueda usarse para la producción industrial. Sin embargo, la tecnología de descarga luminiscente a presión subatmosférica ha madurado y se ha utilizado en la producción industrial. La descarga incandescente a presión subatmosférica puede procesar diversos materiales con bajo costo, corto tiempo de procesamiento, alto contenido de atmósfera, alta densidad de potencia y alta eficiencia de procesamiento. Se puede utilizar para polimerización de superficies, injertos de superficies, nitruración de metales, metalurgia, catálisis de superficies, síntesis química, modificación de superficies de diversos materiales en polvo, granulares y láminas, y tratamiento de superficies de textiles. Las características visuales de la descarga luminosa bajo presión negativa son una descarga uniforme de niebla durante la descarga, el voltaje en ambos extremos del electrodo es bajo y la densidad de potencia es alta cuando se procesan textiles y fibras de carbono, no habrá descomposición ni quemaduras; y la temperatura de procesamiento es cercana a la temperatura ambiente. En la actualidad, la tecnología de descarga luminosa a presión subatmosférica se puede utilizar para el tratamiento hidrófilo de superficies, injertos de superficies, polimerización de superficies, nitruración de metales, metalurgia, catálisis de superficies, síntesis química y otros procesos de materiales de baja temperatura, materiales biológicos y formas especiales. materiales. Debido a la descarga luminosa a presión subatmosférica, la concentración atmosférica en el entorno de procesamiento es alta y la energía de los electrones y los iones puede alcanzar más de 10 eV. El procesamiento por lotes de materiales es 10 veces más eficiente que la descarga incandescente de bajo voltaje. Puede manipular metales, no metales, fibras (de carbono), fibras metálicas, partículas, polvos, etc.