¿Qué significa micromecanizado en volumen?
Traducción al chino
Micromecanizado a granel
A granel: n. Volumen, volumen, tamaño. 2. Enorme; un monstruo; grande y grande;...
Ejemplos y uso
1. Este artículo presenta la tecnología de micromecanizado de volumen, centrándose en las características de este interruptor óptico. Proceso de fabricación
Este artículo se centra en el proceso de fabricación de este interruptor óptico micromecánico sobre la base de la elaboración de la tecnología de micromecanizado comúnmente utilizada.
2. En comparación con la tecnología de micromecanizado de superficies, el acelerómetro capacitivo producido por la tecnología de micromecanizado de volumen tiene una gran masa sensible, poco ruido y alta resolución.
Tecnología de micromecanizado de superficies Los sensores capacitivos mecánicos tienen las ventajas de Pequeña masa sensible, gran ruido termomecánico y alta resolución.
3. 5. Mediante micromecanizado de superficies y micromecanizado de cuerpos se prepararon muestras con impedancias características de 120 y 50. La relajación de la tensión se ha considerado cuidadosamente durante el diseño y la fabricación para obtener una estructura con la menor tensión.
Las guías de ondas planas con ranura en V*** se fabricaron mediante un proceso de grabado híbrido, en el que se creó una línea de transmisión con una característica La impedancia de 50 se realiza mediante tecnología de procesamiento de silicio a granel, y la línea de transmisión con una impedancia característica de 120 se realiza mediante tecnología de micromecanizado de superficie.
4. Para el giroscopio de vibración del diapasón procesado mediante micromecanizado de silicio, se introdujo la tecnología de perturbación de matriz en el método estocástico de elementos finitos para analizar las características estadísticas de la frecuencia natural y la capacitancia de salida del giroscopio de vibración del diapasón.
Basado en la tecnología de perturbación aleatoria, se calcularon cuantitativamente las características estadísticas del cambio de frecuencia natural del giroscopio micromecánico de vibración del diapasón y el cambio de capacitancia de salida de detección, y el impacto del error aleatorio del tamaño del material causado por El procesamiento por lotes del giroscopio micromecánico sobre su rendimiento se expresó utilizando la idea de Influencia.
5. Este artículo forma parte del proyecto "Diseño e Investigación de Unidades de Medición Micro Inercial" de la Universidad de Ciencia y Tecnología Electrónica de China. A través de la investigación sobre sistemas microelectromecánicos y sensores de aceleración microelectromecánicos, este tema completará una serie de sistemas combinados de medición microinercial para su uso en sistemas de guía de cohetes y misiles. Este artículo incluye principalmente los siguientes aspectos: estudiar la tecnología de procesamiento MEMS actualmente madura y desarrollar un sensor de aceleración capacitivo con una estructura simple y basado en un nuevo conjunto de tecnología de micromecanizado de cuerpos de silicio
Este artículo proviene de Proyecto de Tecnología Electrónica “Diseño e Investigación de Combinaciones Inerciales de Mems” de la Escuela Universitaria de Ingeniería Mecánica y Electrónica. Este tema espera desarrollar y diseñar una serie de sistemas mimu que puedan usarse para guiar cohetes y misiles a través de la investigación sobre tecnología mems y sensores inerciales mems. El trabajo principal es el siguiente: se estudia la tecnología de procesamiento MEMS madura y se propone un sensor de aceleración capacitivo con una estructura simple basado en tecnología de micromecanizado de silicio anisotrópico.
6. Diseñé un proceso de fabricación de micropinzas basado en micromecanizado de cuerpos de silicio. La atención se centra en el efecto de equilibrio, el efecto de histéresis y el fallo de unión en icp. Se liberó con éxito un dedo de agarre en voladizo de 6 m de ancho y una longitud equivalente de 5471 m. Se probaron las características de la micropinza electrostática impulsada por peine
Se realizó una gran cantidad de pruebas y análisis de procesos, especialmente en la gran relación de aspecto, el brazo de sujeción en voladizo ultralargo y la estructura de accionamiento del peine. resolvió las tecnologías clave en la tecnología de micromecanizado.