¿Qué significa mems?

Mems (MicroelectromechanicalSystems, abreviado como MEMS), también conocidos como MEMS, microsistemas, micromáquinas, etc. , se refiere a dispositivos de alta tecnología con dimensiones de unos pocos milímetros o incluso menos. Los sistemas microelectromecánicos (MEMS) son sistemas inteligentes independientes cuyas estructuras internas son generalmente de escala micrométrica o incluso nanométrica. Es una tecnología industrial que combina tecnología microelectrónica e ingeniería mecánica, y su rango de trabajo es a nivel de micras. Tecnologías similares de menor tamaño, en el rango de los nanómetros, se denominan sistemas nanoelectromecánicos.

Los sistemas mecánicos microelectrónicos (MEMS) son una plataforma de tecnología de fabricación avanzada. Está desarrollado sobre la base de la tecnología de fabricación de semiconductores. La tecnología MEMS utiliza una serie de tecnologías y materiales existentes, como fotolitografía, grabado y películas delgadas en la tecnología de semiconductores. Por lo tanto, en lo que respecta a la tecnología de fabricación en sí, la tecnología de fabricación básica en MEMS está madura. MEMS se centra más en el procesamiento de ultraprecisión, involucrando múltiples disciplinas como microelectrónica, materiales, maquinaria, química y mecánica. Sus temas también se extienden a diversas ramas de la física, como la fuerza, la electricidad, la luz, el magnetismo, el sonido y las superficies a escala microscópica.