¿Qué significa mems?
Los sistemas mecánicos microelectrónicos (MEMS) son una plataforma de tecnología de fabricación avanzada. Está desarrollado sobre la base de la tecnología de fabricación de semiconductores. La tecnología MEMS utiliza una serie de tecnologías y materiales existentes, como fotolitografía, grabado y películas delgadas en la tecnología de semiconductores. Por lo tanto, en lo que respecta a la tecnología de fabricación en sí, la tecnología de fabricación básica en MEMS está madura. MEMS se centra más en el procesamiento de ultraprecisión, involucrando múltiples disciplinas como microelectrónica, materiales, maquinaria, química y mecánica. Sus temas también se extienden a diversas ramas de la física, como la fuerza, la electricidad, la luz, el magnetismo, el sonido y las superficies a escala microscópica.