¿Qué significa dispositivo cmp?

Equipos de planarización químico-mecánico. Según el diccionario inglés-chino, cmp es la abreviatura de pulido mecánico químico, que es una de las tecnologías clave para el procesamiento de superficies de obleas semiconductoras, por lo que equipo cmp significa equipo de planarización mecánico-químico. El equipo de planarización mecánica química es actualmente la tecnología de planarización de superficies más común para materiales semiconductores. Su proceso de trabajo es que el cabezal de pulido presiona la superficie de la oblea que se va a pulir contra la almohadilla de pulido rugosa, utilizando acoplamientos como corrosión del líquido de pulido, fricción de partículas,. y fricción de la almohadilla de pulido. Lograr un aplanamiento global.